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COORSTEK碳化硅陶瓷TPSS

產(chǎn)品介紹

 TPSS 產(chǎn)品具有高純度、高強度和高耐腐蝕性等多種特性,TPSS是一種導電材料,不易產(chǎn)生靜電。適用于半導體熱處理爐的爐芯管、熱平衡管、舟和叉。 此外,還提供采用 CVD 方法在產(chǎn)品表面鍍上一層超純致密碳化硅膜的產(chǎn)品,以滿(mǎn)足用戶(hù)的各種需求。

性能特點(diǎn)

高純度、高強度

高耐腐蝕性

均勻加熱

耐熱震性

抗氧化性

技術(shù)參數

產(chǎn)地:日本

比熱(室溫,J/gK):0.69

線(xiàn)膨脹系數(×10 -6 /K):4.3(室溫~1000℃)

導熱系數(室溫,W/mK):175

耐熱震溫度(△T、℃):400

表層材質(zhì):CDV碳化硅膜

體積電阻率(Ω厘米):10-1

按等級進(jìn)行化學(xué)分析:TPSS-U

Fe 2.5  Al 0.5  Na 0.2  K 0.2  Ca 0.7  Cu <0.01  Cr 0.1  Ni 0.3

表層材料熱膨脹系數:碳化硅 4.3 石英玻璃 0.5氮化硅 3.5 硅 3.9

硝酸和氫氟酸的混合酸溶液:不會(huì )被腐蝕

產(chǎn)品應用

爐芯管、熱平衡管、舟和叉


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