HEPHAIST定位平臺NAF3C-10-01P

滑塊部分采用 “預載雙滑塊 ”結構，中間板夾在上下兩塊板之間。 每塊板之間放置了大量滾珠，可實(shí)現平滑的平面滾動(dòng)運動(dòng)。 三個(gè)執行器位于同一平面上，因此結構超薄、簡(jiǎn)單。 這有助于實(shí)現小型化和低重。

超薄、結構簡(jiǎn)單

高精度定位

高剛性

節省空間

任意設置旋轉中點(diǎn)

超精度平臺 HW 系列：進(jìn)給機構采用 “滾珠絲杠+楔形減速機構”。 此外，直線(xiàn)運動(dòng)導軌配備了 “交叉滾柱導軌”，從而實(shí)現了高跟蹤、高精度和高剛性的超精度平臺。

Z 傾斜平臺：帶有三個(gè)楔形 Z 軸模塊的傾斜平臺。平臺放置在需要調整角度的物體底部，高度和水平度可通過(guò)每個(gè)推桿的垂直運動(dòng)進(jìn)行調整。工作臺和推桿之間的連接采用本公司生產(chǎn)的球面軸承 (SRJ)。

Z 軸平臺：高負荷、高剛性、高分辨率、省電的推桿，是在狹小空間內沿 Z 軸方向定位和校準重物的適配選擇。

XYθ 平臺（對中平臺）：超薄平臺，其電動(dòng)執行器布置在同一平面內，使整個(gè)系統的重較低。

產(chǎn)地：日本

行程：XY ± 2 mm，θ ± 2°

工作臺尺寸：100 x 100 mm

底座尺寸：120 x 120 mm

高度：35 mm

重復定位精度：±1 µm 以?xún)?/p>

移動(dòng)誤差：3 µm 以?xún)?/p>

靜止時(shí)的負載能力(等分布垂直負載）：200 N

移動(dòng)時(shí)的負載能力(垂直均布負載）：100 N

平行度：30 μm

步進(jìn)電機型號：PK513PA

滾珠絲杠導程：1 mm

驅動(dòng)器類(lèi)型：步進(jìn)：MC-S0514-3L

步進(jìn)分辨率(默認設置）：0.2 μm/pulse

伺服分辨率(默認設置）：0.1 μm/pulse

光電微傳感器：PM-L25

平臺材料：鐵-低溫黑鉻處理；鋁-黑色陽(yáng)極氧化處理

質(zhì)量：2.2 kg

潤滑劑：低塵潤滑脂

平臺高速運行 、懸掛在天花板上