作為E5□N-H的迭代機型,歐姆龍E5□D-H在保持操作便捷、成本優(yōu)勢的基礎上,針對半導體精密加工需求,全面提升溫度控制性能與設備開(kāi)發(fā)效率,為行業(yè)客戶(hù)提供高性?xún)r(jià)比解決方案。
半導體微型化與疊層化工藝要求溫控精度提升。
復雜工況下的外部干擾易引發(fā)溫度波動(dòng),影響設備穩定性,抗干擾能力需增強。
多樣化產(chǎn)品需求要求設備快速改造與組裝。
1、提升溫控性能,溫度分辨率可達0.01℃
E5□D-H搭載0.01℃的高分辨率,有助于在高溫條件下實(shí)現高精度溫控,提升產(chǎn)品良率。
2、外部干擾抑制功能,將溫度變化控制在最低限度
外部干擾抑制功能是一項控制功能,能夠針對可預測的外部干擾預先抑制溫度變化。通過(guò)外部干擾自動(dòng)調諧功能,自動(dòng)調整FF(前饋)操作量、FF動(dòng)作時(shí)間和FF等待時(shí)間。
3、易操作的設計,簡(jiǎn)化安裝與維護
使用Push-In端子臺輕松接線(xiàn),無(wú)需工具,插入即可,不易脫落。Push-In Plus端子臺可大幅削減配線(xiàn)工時(shí),有效減少配線(xiàn)作業(yè)的負擔。
4、減少通信設置工時(shí)和通信時(shí)間
E5□D-H利用設備預置的通信協(xié)議庫,無(wú)需PLC通訊程序開(kāi)發(fā),實(shí)現“零編程”通信集成,減少通訊設定工時(shí)。通過(guò)集中管理,實(shí)現多臺溫控設備的批量配置,減少通信時(shí)間。
歐姆龍溫控器E5□D-H,以技術(shù)創(chuàng )新與用戶(hù)需求為導向,重新定義高精度溫控標準。通過(guò)高分辨率控制、干擾抑制功能、省人化設計,助力半導體企業(yè)實(shí)現高效生產(chǎn)與可持續發(fā)展,開(kāi)啟精準溫控新時(shí)代!
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