美國布魯克斯Brooks Instruments熱質(zhì)量流量控制器GF135特征和優(yōu)勢
GF135系列采用金屬密封的熱質(zhì)量流量控制器性能和智能。
型號GF135
保持對目標的關(guān)鍵流程的流程和與GF135高級診斷壓力瞬變不敏感型（PTI）質(zhì)量流量控制器最大限度地提高吞吐量。世界上個(gè)“聰明”的質(zhì)量流量控制器是一個(gè)真正的游戲改變：它執行率的衰減整體流量測量無(wú)需停止工藝氣體的流動(dòng)。它允許半導體制造商驗證的過(guò)程氣體的精度，通過(guò)泄漏檢查閥和實(shí)時(shí)監測傳感器穩定性而不從氣體管線(xiàn)除去流量控制器。與全金屬潤濕流路相結合，超快速建立時(shí)間和業(yè)界先進(jìn)的工藝氣體的精確度，GF135 PTI MFC有能力改變的生產(chǎn)力和吞吐率為廣泛沉積工藝的潛力。

特征
每年<±0.5％滿(mǎn)量程長(cháng)期零點(diǎn)穩定性
超快速建立時(shí)間：<300毫秒 - <400毫秒
滿(mǎn)量程流速：3 SCCM至5 SLM
超高純度流動(dòng)路徑 - 4μ寸鐳表面光潔度
嵌入式實(shí)時(shí)流量錯誤檢測和使用趨勢率的衰減（ROD）技術(shù)
增強工藝氣體的準確性 - 高達三倍的改善 - 通過(guò)先進(jìn)的氣體通過(guò)模擬實(shí)際氣體測試優(yōu)化
第三代壓力瞬變不敏感（PTI）技術(shù)
能見(jiàn)度高，電子可旋轉的LCD顯示提供流量，溫度，壓力和網(wǎng)絡(luò )地址的本地指示
的DeviceNet?，RS-485和模擬接口
優(yōu)點(diǎn)
實(shí)時(shí)流錯誤檢測可以更快地調整流量偏差和支持晶圓良率改善
傳感器穩定跟蹤，支持預測性維護提高系統正常運行時(shí)間
閥門(mén)泄漏通過(guò)跟蹤有助于最小化的晶片效應
增強的過(guò)程氣體精確度10納米工藝符合化學(xué)氣體控制方面的挑戰
市場(chǎng)先進(jìn)的流量穩定時(shí)間減少非生產(chǎn)性流穩定措施，支持先進(jìn)的3D設備處理
加強壓力不敏感提供卓越的工藝氣體控制增強刻蝕和沉積控制
耐腐蝕的哈氏合金傳感器提供了無(wú)與倫比的長(cháng)期穩定的傳感器確保最大的成品率和產(chǎn)量
下拉更換為表面貼裝和VCR微生物燃料電池是在現有系統中的關(guān)鍵氣體線(xiàn)輕松升級
應用
安森美半導體先進(jìn)的蝕刻工具
美國B(niǎo)rooks Instruments（布魯克斯）作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專(zhuān)門(mén)從事流量計產(chǎn)品的生產(chǎn)。Brooks Instrument公司出品的流量計和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經(jīng)驗，Brooks公司不斷推出各種流量計以及壓力控制技術(shù)（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計和其他液位測量產(chǎn)品。
上海連航機電科技有限公司是國內專(zhuān)業(yè)的進(jìn)口機電產(chǎn)品與技術(shù)集成服務(wù)商。公司專(zhuān)注于為中國工業(yè)企業(yè)供應進(jìn)口備品備件，提供過(guò)程控制技術(shù)咨詢(xún)，工業(yè)自動(dòng)化集成設計與改造，成套設備與技術(shù)引進(jìn)等工業(yè)技術(shù)應用及產(chǎn)品供應服務(wù)。主要產(chǎn)品有BENZLERS減速機、 ABB電容電橋測試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線(xiàn)性執行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等，歡迎來(lái)電咨詢(xún)。
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