PHILLIPTECH石英晶體TAN06IG

這些 6,000 MHz AT 切割石英晶體由 Phillip Technologies 設計和制造，在薄膜沉積系統中提供高頻率穩定性和高精度性能。它們采用雙錨電極布局，與 Inficon、Maxtek、Sigma Instruments、Sycon 以及其他采用此行業(yè)標準配置的控制器的監控系統完全兼容。

這些晶體直徑為 14 毫米，頻率響應清晰可靠，是真空沉積、光學(xué)監控以及半導體、光子學(xué)和先進(jìn)材料應用領(lǐng)域中薄膜生長(cháng)的理想選擇。

• 高精度 6 MHz AT 切割石英晶體
• 我們的晶體采用定制設計的托盤(pán)包裝，可保護敏感的中心區域（諧振點(diǎn) 3 毫米范圍內）免受任何物理接觸或污染
• 用于薄膜沉積監測器和控制器的石英傳感器

電極涂層選項

金 (Au)：化學(xué)惰性，適用于腐蝕性或反應性薄膜環(huán)境

銀 (Ag)：提供高的Q值和頻率響應；適用于高精度PVD或光學(xué)薄膜控制

鋁 (Al)：建議用于高溫環(huán)境或監測鋁基薄膜；具有低熱膨脹性和強大的工藝兼容性

每種金屬選項均在嚴格控制的條件下進(jìn)行真空沉積，以確保電極的均勻性和性能穩定性。

產(chǎn)地：美國

材質(zhì)：純二氧化硅單晶，電子級石英

尺寸：外徑 0.550 英寸 + 0.000/- 0.002 英寸

輪廓：平凸

表面處理：平面和輪廓面粗糙度均方根值 7 微米

直徑：13.95 毫米的通光孔徑內無(wú)碎裂、劃痕或蝕刻痕跡

電極：Inficon 鍍金，底層鍍鉻

諧振頻率：5.989 MHz，基波串聯(lián)諧振

電阻：<15 歐姆，鍍層

接觸電阻：<10 歐姆（圖案側邊到邊）

雜散模式：first非諧波 >150 KHz 高于基波

重量：0.05 磅

尺寸：3.75 × 3.75 × 0.35 英寸

包裝數量：10 件